以典型的5000t/d水泥熟料生產線所配套的余熱發電機組為例，通常余熱發電技術的熱力系統采用復合閃蒸技術。整個熱力系統工藝流程是一個完整的水汽循環利用過程。在生產線窯尾、窯頭各設置一臺余熱鍋爐，用于與廢氣的熱量交換，熱交換后鍋爐產生的過熱蒸汽導入汽輪機做功，汽輪機帶動發電機向外輸出電能。做過功后的蒸汽經凝汽器冷凝成凝結水，經凝結水泵與閃蒸器出水匯合，通過鍋爐給水泵增壓進入AQC鍋爐省煤器進行加熱，經省煤器加熱后的高溫水分三路分別送到AQC爐汽包、PH爐汽包和閃蒸器內。
進入兩臺鍋爐汽包內的高溫水在鍋爐內循環受熱，最終產生過熱蒸汽，兩路過熱蒸汽匯集后進入汽輪機。進入閃蒸器的高溫水根據閃蒸汽化原理（高溫高壓水進入低壓空間后會部分瞬間汽化）產生一定壓力的飽和蒸汽進入汽輪機后級輔助做功作用。
做過功后的蒸汽經過凝汽器冷凝后形成凝結水重新參與系統循環。循環過程中消耗掉的水由純水裝置制取出的純水補充到系統中。
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